マイクロ・ナノ融合加工機の開発試作
株式会社 三光製作所では、マイクロ・ナノ融合加工機の開発試作を
行っています。
全国中小企業団体中央会の「ものづくり製品開発等支援補助金」を
活用したナノ制御高精密リニア加工機の開発試作及び、
マイクロ・ナノ融合加工法の構築を目指しています。
((参考出展予定))
平成22年2月17日(水)から19日(金)
nanotech国際ナノテクノロジー総合展へ出展します。
無料招待券等の詳細内容は、弊社展示担当の渡辺までご連絡ください。
ナノ制御高精密リニア加工機の紹介
◆ 主な仕様
・各軸移動量 X軸:200mm Y軸:200mm Z軸:100mm
・主軸回転数 30,000rpm(高出力/OP) 60,000rpm(標準) 120,000rpm(高速/OP)
・最小指令単位 XY/ 0.000001mm(1nm) Z/(10nm)
・切削監視モニター : CCDマイクロウスコープ×300/OP
◆ 主な機械要素
・XY軸駆動方式リニアモータ :コアレスロッド形/高速・高精度・高加減速・低リップル
→THK製/RDM P38
Z軸 高精密ボールネジ → NSK製/S1
・摺動方式 リニアガイド :超々高剛性ローラリニアガイド
→ THK製/SRG
◆主な制御要素
・ナノ制御CNC装置 TOSNUC92 → 東芝機械製
・リニアスケール レーザースケール/分解能0.034mm
→ SONY製/BL57-RE
・可動主要構造物 軽量A5052一体構造体
◆量産時目標コスト 999万円
◆今後の開発
2010年/YAGファイバーレザーの搭載
2011年/超音波振動スピンドルの搭載
2012年/ピコ制御技術の確立
2012年/マイクロ・ナノ融合加工法の確立
2012年/マイクロ・ナノ融合加工法を核とするピコ制御高精密加工機の事業化
